MKS压力控制器不同的型号有各种的优势特点，下面是我们为您带来的美国MKS压力控制器PPCA产品特征，欢迎您继续往下阅读！

1、美国MKS压力控制器PPCA产品介绍
智能集成压力控制解决方案可为困难的CVD工艺和一般真空应用提供精确控制。他们独特的设计非常适合需要高性能和简单集成到工艺工具中的应用。节气门组件内的所有控制、通信和驱动电路无需安装单独的电子模块。集成压力控制器与真空室一起使用，以控制进入和离开真空室的气流。MKS集成压力控制器包括Baratron®压力测量、电磁流量控制阀和集成控制电子设备。PPCA压力控制器为关键工艺应用提供压力测量和控制，例如背面晶圆压力控制、传输室压力控制和工艺气体面板压力平衡。该装置可配置用于上游（入口）或下游（出口）压力控制。这是在一个紧凑的封装中完成的，与以前完成任务所需的多组件系统相比，节省了关键空间。

2、美国MKS压力控制器PPCA产品特征
PPCA利用MKS Instruments领先的Baratron®电容压力计技术进行压力测量。它与比例控制阀和最新的控制电子设备集成在一起，提供快速、准确的压力控制，并通过关键流量监控作为系统诊断。PPCA可配置为10至1000 Torr满量程压力，控制范围为满量程的5至100%。这种可配置性使该器件适用于传输室压力控制、关键背面晶圆压力控制以及运行排气压力控制应用。根据工艺条件，控制阀可配置为5至5000 sccm满量程的满量程流量。PPCA配备数字（DeviceNet™或EtherCAT®）I/O，可直接集成到新应用或改造应用中。该设备的微型USB用户界面增强了现场调节和组件诊断功能，几乎可以通过任何带有网络浏览器的PC进行访问。
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3、美国MKS压力控制器PPCA产品模拟输出
1249可由±15 VDC或24 VDC的常用电源供电，功耗不到一瓦（不包括阀门）。它接受来自PC、PLC或其他系统控制器的0-5 VDC、0-10 VDC或4-20 mA控制信号输入。1249的输出信号经过定制，可满足148或248比例控制阀的要求。如果施加到1249的电源为±15 VDC或+30 VDC，则1249还可用于驱动154阀。

4、美国MKS压力控制器PPCA产品特点
①背面晶圆冷却
②对设定点的快速响应，超调最小
③金属密封、洁净室制造的装置满足关键的高纯度应用需求
④温度补偿可在其工作温度范围内保持器件精度

5、美国MKS压力控制器PPCA产品规格
①压力范围：10、20、50、100、200、500或1000 Torr满量程
②流量：50、200、1000、5000、10000、20000、30000、50000（sccm）
③压力分辨率：0.1托
④配件类型：Swagelok®4 VCR外螺纹
⑤压力控制精度：读数的±1.0%（≥10%满量程）满量程的±0.2%（小于10%满量程）
⑥传感器超压限制：所有量程均为2x满量程
⑦最大压差：45磅/平方英寸
⑧爆破压力：1500磅/平方英寸
⑨控制方式：上游或下游
⑩压力测量精度：读数的±0.5%
⑪零温度系数：满量程的±0.02%/°C
⑫跨度温度系数：±0.04%读数/°C
⑬控制范围：大于满量程的5至100%
⑭典型响应时间：小于1.0秒（不包括系统时间常数）

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