MKS是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一，其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发，推动其产品一直处于全球技术领先地位。深圳市华联欧国际贸易有限公司专门经销美国和欧洲等国家的工业产品，经营产品类别和品牌多样齐全，方便用户可以一站式采购。特别的那些不好寻找的欧美工业产品备件。公司多年来不断积累拓展和优化供应渠道，与品牌供应商建立了良好的合作关系，所以拿到的价格也非常优势。以下是我们为您介绍的《美国MKS真空计_MKS真空计901P-11030》相关信息。

1、美国MKS真空计概述
美国MKS真空计901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock真空传感器结合了Piezo和MicroPirani™传感器技术，与传统热导计相比，精度、稳定性、可重复性和响应时间显着提高。它具有0.00001-1000 Torr压力测量范围、大气切换功能以及尺寸为NW16 ISO-KF的法兰。它使用RS232数字通信接口来设置传感器参数并提供实时压力测量。901P专为真空负载锁内的压力测量而设计。它具有从大气到10-5 Torr的绝对压力测量和大气切换功能，能够取代负载锁上的多个压力测量设备。与传统负载室设计中使用的压力表相比，901P精确的大气压力测量可以通过更快的循环时间来提高负载室性能，并防止负载室受到大气污染。

2、美国MKS真空计功能
美国MKS真空计901P结合了绝压和差压测量技术，提供卓越的性能和功能。901P提供获得专利的、独立于气体的绝对压力测量（50-1000 Torr），并且比热导率传感器具有更高的精度。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了MicroPirani™技术，901P可以读取低至10-5 Torr的压力，比标准皮拉尼传感器低二十个百分点。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此901P可以以任何方向安装，而不会影响精度。

3、美国MKS真空计原理
美国MKS真空计901P还具有1VDC/十倍频的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面选择。辅助可选模拟输出用于提供压差测量。901P具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给差分压电测量或组合绝对MicroPirani™/压电测量。901P紧凑的设计显着减少了真空计占用的空间。

4、美国MKS真空计规格
①绝对测量范围：1.0 x 10-5至1500托
②差分测量范围：-760至+760托
③数字通讯：RS232
④类型：真空传感器
⑤密封材料：氟橡胶
⑥美国MKS真空计外壳：标准
⑦电气连接器：15针、高密度、D-sub公头
⑧美国MKS真空计界面：RS232/模拟
⑨配件类型：NW16 ISO-KF
⑩美国MKS真空计安装方向：任何

5、美国MKS真空计技术参数
①美国MKS真空计模拟输出：1-9 VDC
②美国MKS真空计模拟输出分辨率：16位
③可选模拟输出：25 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍频程
④继电器触点额定值：1 A 30VAC/DC，电阻式
⑤美国MKS真空计继电器响应最长：100毫秒
⑥电源要求：9-30 VDC，最大<1.2瓦
⑦压电微分重复性：-760至10 Torr±1%读数
⑧压电差动零稳定性：满量程的±0.1%（满量程=760 Torr）
⑨超压限制：1500托（绝对）
⑩暴露的材料：硅、SiO2、Si3N4、金、低释气环氧树脂、304不锈钢、Viton
⑪电子外壳及法兰：304不锈钢
⑫美国MKS真空计模拟输出2分辨率：12位
⑬数字波特率：4800-230400波特率

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