当美国MKS的客户有复杂的问题需要解决时，他们会求助于MKS作为值得信赖的合作伙伴。他们为多年来在技术和应用程序合作中精心培养的牢固关系感到自豪。由于建立在相互信任之上的坚实基础，他们拥有强大管道的客户让他们参与他们的新计划。他们认为这是一项崇高的荣誉。他们还与供应商密切合作。这是他们开展业务的方式，也是他们的投资，以确保他们的供应链能够在客户需要时提供关键产品。他们创造的解决方案将未来变为现实——这就是推动可能性边界的全部意义所在。当今最激动人心的技术，如5G、人工智能、增强现实和自动驾驶汽车，都得益于他们广泛的真空产品、电源解决方案、气体输送、等离子体生成、臭氧解决方案、激光、光子学、精密光学、运动和PCB激光加工。深圳市华联欧国际贸易有限公司专业从事工业自动化备品备件的销售，优惠促销MKS控制器产品，价格低，货期短，质量有保证，采购MKS控制器，就选深圳华联欧，我们会您提供最优质的服务！以上就是我们为您介绍的MKS控制器,美国MKS控制器，感谢阅读！

1、美国MKS控制器产品介绍
使用DELTA™流量比控制器(FRC)，优化过程性能变得更加容易。DELTA™流量比控制器(FRC)广泛用于各种分流应用，例如蚀刻、剥离和PECVD，使用户能够将气体或气体混合物分配到工艺室的不同区域。DELTA™II流量比例控制器以用户指定的比例分配和控制混合工艺气体流向工艺室内的多个腔室或区域，从而最大限度地提高工艺均匀性和可重复性。它可用于EtherCAT®或DeviceNet™通信。

2、美国MKS控制器产品特征
①分配和控制流向两个腔室或区域的工艺气体
②用于在运行期间监控设备的嵌入式以太网
③模拟、EtherCAT®或DeviceNet™通信
④更宽的动态控制范围，可实现低至5%满量程流量的比率控制
⑤获得专利的控制算法可实现更快的响应比设定点
⑥使用标准网络浏览器-无需特殊软件

3、美国MKS控制器产品优势
DELTA II具有更宽的动态比率控制范围，更能适应不同的刀具和工艺条件。MKS开发了一种独特的正在申请专利的比率控制算法，使比率和流量响应时间小于两(2)秒。这种控制算法还支持20比1的比率控制范围，是其行业领先前身的两倍多。DELTA II的诊断功能允许用户在现场检查DELTA的性能，通过减少“未发现问题”设备的移除来降低成本。此功能通过通过设备的以太网端口访问的Web浏览器实用程序启用。该实用程序使用标准的网络浏览器——不需要特殊软件。访问时，可通过设备高亮LED显示屏访问IP地址。

4、美国MKS控制器产品信息
DELTA II广泛用于各种分流应用，如蚀刻、剥离和CVD，使用户能够将气体或气体混合物分配到工艺室中的两个不同区域。向DELTA II发送气体（或任何混合物）和比率设定点，DELTA II将自动且精确地将气体分成两个独立的输出通道。吞吐量和过程控制一直是半导体器件制造商的关键。随着300毫米晶圆和双工艺室的出现，控制气流分布的新方法变得越来越需要。300毫米晶圆加工通常需要对整个晶圆的气体分布进行可调控制，以提供更好的工艺均匀性。双工艺室需要适当的气体分布，以便与单源气体面板的室匹配。

5、美国MKS控制器产品技术数据
①最大工作出口压力：200托
②最大允许出口压差：50托（Q1和Q2之间）
③正常工作压差：<150托（对于10000/10000，<450托）（N2）
④证明压力：1000磅/平方英寸
⑤爆破压力：1500磅/平方英寸
⑥输入流量范围：每个通道的5到100%满量程额定值（N2等效）
⑦比率控制范围：1:1到20:1和20:1到1:1
⑧比率精度：比率设定点的2%
⑨典型精度：比率设定点的0.3%
⑩比率重复性和再现性：通道满量程的0.02%
⑪零温度系数：0.05%满量程/°C
⑫跨度温度系数：0.08%读数/°C
⑬热身时间：30分钟
⑭工作温度：10至40°C

6、美国MKS控制器产品部分型号
①美国MKS控制器DELTA™IV 4
②美国MKS控制器DELTA™II
③美国MKS控制器DLT2A2
④美国MKS控制器DLT2B
⑤美国MKS控制器DLT2A1
⑥美国MKS控制器DLT3B
⑦美国MKS控制器DLTNA3

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