品牌介绍：KLA-Tencor是一家领先的工艺控制和产量管理解决方案提供商，与世界各地的客户合作开发最先进的检测和计量技术。这些技术服务于半导体、数据存储、LED、光伏和其他相关纳米电子行业。凭借一系列行业标准产品和一支世界一流的工程师和科学家团队，该公司30多年来一直为客户打造卓越的解决方案。KLA-Tencor总部位于加利福尼亚州米尔皮塔斯，在世界各地设有专门的客户运营和服务中心。本文由深圳华联欧官网小编给大家讲述一下美国KLA-TENCOR检测仪/光学表面分析仪。

一、美国KLA-TENCOR公司简介
KLA-Tencor公司为全球知名的专业美资半导体(芯片)设备供应商，总部位于美国硅谷，拥有超过6000名员工。自1976年成立以来，该公司一直致力于产品研究与发展，为全球客户提供更加完善和人性化的服务，同时协助半导体(芯片)制造商创造高品质、高效率的产品和质量。目前，KLA-Tencor在美洲、欧洲、亚洲等许多国家设有分支机构。KLA-Tencor始终致力于帮助全球客户降低运营成本并增加收益，成为他们坚定不移的长期合作伙伴。KLA是全球最大的半导体晶圆制造设备(WFE)制造商之一。该公司专注于半导体工艺控制市场，其中机器在研发和制造过程中检查半导体晶圆的缺陷并验证精确测量。在这一市场领域，KLA占有多数份额。该公司还涉足WFE市场的蚀刻和沉积领域。其最大客户包括全球最大的芯片制造商，包括台积电和三星。

二、美国KLA-TENCOR部分产品介绍
1、美国KLA-TENCOR前端缺陷检测工具
①KLA-Tencor前端缺陷检测工具涵盖了IC制造环境中的所有良率应用。这包括来料晶圆鉴定、研发以及工具、工艺和生产线监控。
②图案化和非图案化晶圆缺陷检测工具可发现晶圆正面、背面和边缘上的颗粒、图案缺陷和电气问题。
③缺陷检查系统可捕获检查员检测到的缺陷的高分辨率图像，从而实现缺陷分类。
④他们的数据管理工具套件可汇编和简化由检查和检查工具生成的缺陷数据，以提供相关的根本原因和良率分析信息。
⑤通过实施他们的缺陷检查器、缺陷审查和分类工具以及数据管理系统，芯片制造商能够快速识别、监控和解决流程问题，从而提高产量并加快产品上市时间。

2、美国KLA-TENCOR光学表面分析仪
①KLA-Tencor提供广泛的计量解决方案，以解决IC制造商面临的复杂工艺控制测量挑战。
②随着临界尺寸缩小、薄膜厚度缩小到可数的原子层数以及设备变得更加复杂，图案尺寸、薄膜厚度、层间对准、图案放置、表面形貌和电光特性的精确计量和控制变得越来越重要。
③无论是验证设计是否可制造、描述新工艺还是监控大批量制造工艺，其全面的计量、分析和工艺窗口优化产品都能使IC制造商能够生产出高性能、可靠的设备。

3、美国KLA-TENCOR检测仪
①无误差光罩或掩模是实现高半导体器件产量的第一步，因为光罩缺陷可以在生产晶圆上复制。
②KLA-Tencor为掩模厂提供高灵敏度光罩检测和计量系统，帮助确保光罩无缺陷并满足掩模计量要求。
③光罩检测系统使用光学成像和多种检测模式在晶圆上印刷之前发现所有类型的光罩缺陷。
④计量系统通过提供最佳的光罩图案放置精度和光罩关键尺寸的精确测量来确保光罩制造的质量。
⑤在IC制造环境中，芯片制造商依靠其高灵敏度的光罩缺陷检测工具来确保光罩无缺陷，从而防止光罩缺陷印在生产晶圆上。

三、美国KLA-TENCOR主要产品
①美国KLA-TENCOR检测仪
②美国KLA-TENCOR光学表面分析仪

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