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1、美国MKS真空压力传感器901 PLUS(901P)介绍
MKS模块化真空传感器尺寸紧凑，可大幅降低安装成本。这些真空/压力表非常适合控制器尺寸和本地控制至关重要的应用。它们可用作具有模拟输出的压力传感器，或具有用于传输压力信号的数字通信的真空模块。901 Plus(901P)负载锁定传感器(LLT)专为负载锁定环境而设计，结合了Piezo和Micro Pirani™真空传感器技术。与传统热导率计相比，组合输出可提供显着更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。
2、美国MKS真空压力传感器901 PLUS(901P)特点
①绝对压力测量范围为1,000至10-5 Torr
②单个传感器具有3个传感器功能，测量范围广
③模拟、RS232、RS485和EtherCAT®版本
④可选的集成触摸屏显示器可用于本地压力指示
⑤快速、准确且可重复的压力测量缩短了过程周期时间
⑥三个可选设定点具有快速响应时间，可实现可靠的过程控制
3、美国MKS真空压力传感器901 PLUS(901P)规格
①绝对测量范围：1.0 x 10-5至1500托
②差分测量范围：-760至+760托
③数字通讯：RS485/RS232（4800至230400波特率）
④传感器：MicroPirani™（MEMS热导率）压电微分（MEMS隔膜）
⑤继电器：3个继电器SPDT（可选）
⑥工作温度：0°至40°C（32°至104°F）
⑦最高烘烤温度：85°C(185°F)，非工作状态
⑧模拟输出：绝对压力：1至9 VDC、1 VDC/十倍频、100Ω最大输出阻抗（16位）
⑨可选模拟：输出2压电差分：5 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍频（12位）
⑩继电器hlo-trade触点额定值：1 A 3 0VAC/DC，电阻
⑪压电微分重复性：-760至+10 Torr±1%读数
⑫压电差动零稳定性：满量程的±0.1%（满量程=760 Torr）
⑬超压限制：1500托（绝对）
⑭内部容积：(KF16)2.8 cc
4、美国MKS真空压力传感器901 PLUS(901P)特征
（1）绝对压力和差压测量
901P结合了绝压和差压测量技术，提供卓越的性能和功能。901P提供获得专利的、独立于气体的绝对压力测量（50-1000 Torr），并且比热导率传感器具有更高的精度。
（2）MicroPirani™传感器技术
与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了MicroPirani™技术，901P可以读取低至10-5 Torr的压力，比标准皮拉尼传感器低二十个百分点。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此901P可以以任何方向安装，而不会影响精度。
（3）压电差分传感器技术
Piezo是一款差压传感器，可确保在不同的气压条件下正确测量气压。压电技术是一种直接压力读数，允许测量独立于气体。压电传感器测量相对于大气压力的范围为-760至+760 Torr。
（4）模拟压力输出
901P还具有每十倍频1VDC的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面选择。辅助可选模拟输出用于提供压差测量。
（5）三个过程控制继电器
901P具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给差分压电测量或组合绝对MicroPirani™-压电测量。
（6）紧凑型设计
这些真空传感器的紧凑设计显着减少了真空计占用的空间。这对于系统设计者来说特别有吸引力，并且可以实现更紧凑的真空系统。
（7）可选集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可供用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。从5米外的高对比度显示屏上即可看到单个传感器显示的压力读数或组合读数。
（8）PDR900电源和显示器
PDR900电源和读数装置是一款独立的单通道控制器，可与900系列数字真空传感器配合使用。它可以用作独立的电源读出单元，也可以用作OEM应用中系统集成传感器的配置、校准和诊断工具。
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