ARZUFFI发电机 BDS-MF系列
Arzuffi BDS-MF是一款等离子发生器，其正弦输出电压为40 kHz，最大功率输出为5 kW或10 kW，专为PECVD等离子或等离子体激发而设计。
该发生器能够提供高达10kW(5KW)至5000V的RMS输出。输出为两个对称电极的平衡型。
典型的应用是大型工艺室的PECVD工艺。
一个特点是内部输出的高压变压器，带有两个插座，以适应等离子体阻抗。
该发生器设计用于现有机器上的即插即用安装。
ARZUFFI发电机 BDS-MF系列参数：
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BDS-MF5K |
BDS-MF10K |
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输出功率 |
负载为2000欧姆负载时为5 kWatt |
负载为2000欧姆负载时为10 kWatt |
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供电电压 |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，10A (L1，L2，L3，PE) |
3 X 400 VAC +/- 10%50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE) |
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尺寸 |
抽屉19英寸机架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
抽屉19英寸机架，4UI高度(177毫米)540毫米深度 |
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重量 |
20KG铝制容器 |
20KG铝制容器 |
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冷却 |
空气冷却，高效散热器，该装置可在高达40°C的环境温度下工作 |
空气冷却，高效散热器，该装置可在高达40°C的环境温度下工作 |
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输出电压 |
在2000欧姆负载时，tap2上的电压高达5000V |
在2000欧姆负载时，tap2上的电压高达5000V |
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输出电流 |
TAP1上最高3.5 A，TAP2上最高2.5A |
TAP1上最高3.5 A，TAP2上最高2.5A |
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输出连接器 |
2个Fischer 105连接器上的平衡输出，用于RG214 / U同轴电缆 |
2个Fischer 105连接器上的平衡输出，用于RG214 / U同轴电缆 |
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等离子点火电压 |
大于5500 VRMS |
大于5500 VRMS |
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电弧识别电路 |
过流一次回路，反应时间1微秒 |
过流一次回路，反应时间1微秒 |
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接口 |
DB25连接器，模拟10V信号，24V数字 引脚排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 发生器(可选) |
DB25连接器，模拟10V信号，24V数字 引脚排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 发生器(可选) |
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前面板 |
LCD显示2×40个字符 |
LCD显示2×40个字符 |
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测量电路 |
RMS电压，RMS电流，负载上提供的有功功率 |
RMS电压，RMS电流，负载上提供的有功功率 |
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调节电路 |
动力 |
动力 |
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高压输出变压器 |
两个Tap1输出插座，用于1000欧姆负载，Tap2用于2000欧姆负载 |
两个Tap1输出插座，用于1000欧姆负载，Tap2用于2000欧姆负载 |
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合规 |
EC可根据要求提供符合性声明 |
EC可根据要求提供符合性声明 |
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