具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器,高水平的去除气体管道内的粒子,同时实现高选择性。(可以满足200℃高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下)品牌:PURERON型号:PGFPURERON陶瓷气体过滤器PGF系列.pdf 具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器,高水平的去除气体管道内的粒子,同时实现高选择性。(可以满足200℃高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下) 性能特点对于亚微米LSI工艺,须向使用点供应高纯度工艺气体。为此,超清洁管道也是一个主要问题。为了满足这些要求,Pureron Japan开发了使用陶瓷作为过滤元件的全新过滤器,并在稳定条件下实现了0.003 m深圳市华联欧国际贸易有限公司长期优势供应PURERON陶瓷气体过滤器PGF等产品,100%正品保证,价格优惠,货期快,型号全,欢迎前来咨询合作。所有欧美工控产品型号齐全,质量保证,价格全网最低,而且报价快,货期短,欢迎来电咨询!
具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器,高水平的去除气体管道内的粒子,同时实现高选择性。(可以满足200℃高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下)
品牌:PURERON
型号:PGF
PURERON陶瓷气体过滤器PGF系列.pdf
具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器,高水平的去除气体管道内的粒子,同时实现高选择性。(可以满足200℃高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下)
性能特点
对于亚微米LSI工艺,须向使用点供应高纯度工艺气体。为此,超清洁管道也是一个主要问题。为了满足这些要求,Pureron Japan开发了使用陶瓷作为过滤元件的全新过滤器,并在稳定条件下实现了0.003 m的高精度过滤。蚀刻和薄膜所需的高选择性。
去除诸如水和氧的杂质对于寻求高选择性是非常重要的。为了确保去除杂质,高温烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷过滤器就是从这个角度开发的,可以在200 C下进行高温烘烤。通过免维护操作降低成本。
三层过滤结构,取决于颗粒直径的大小,很少产生堵塞。与传统过滤器相比,陶瓷过滤器还具有良好的耐久性和耐热性。因此,生产停工造成的损失很小,实现了长期成本降低。
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