FLEXI-FLOW紧凑型FF-M10和FF-M11紧凑型质量流量/压力计适用于在真空和17bar（a）之间的工作压力下测量0…500 mln/min和0…20 ln/min之间的流量范围。该仪器结合了基于毛细管MEMS技术的快速稳定的热质量流量传感器和准确可靠的旁路结构。由于独特的TCS技术（通过芯片传感器），建立了与温度和管路压力变化无关的准确质量流量测量。结合集成的温度和上下游压力传感器，22种气体的嵌入式数据库可实现准确的车载转换。多参数仪表为用户提供有用的过程信息：
-型号FF-M10：流量+温度
-型号FF-M11：流量+温度+上下游压力
产地：荷兰
流量范围（可用的中间范围）：min.0…500mln/min
Max.0…20 ln/min（基于N2）
压力范围：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）
精度（包括线性度）（基于实际校准）：高达±0,5%Rdplus±0,1%FS（N2/空气/O2）；
对于其他气体，增加转换不确定性；
重复性
流量传感器：<±0,2%Rd；
压力传感器：<±0,2%FS
减速比：高达1:1000
工作压力：max.16 bar g
22种独特气体以及这些气体的任何混合物的多气体/多量程嵌入式气体数据
响应时间（传感器）：<30 ms（T63）
3年内长期稳定性：<0,5%FS；每年<0,2%FS
安装：任何位置，姿态灵敏度可忽略不计
温度传感器灵敏度：zero00015%FS/ºC；span0,03%Rd/ºC；
压力传感器灵敏度：zero0,16 mbar/ºC；span0,05%Rd/ºC
温度精度：±0,2ºC（仪器本体温度）
压力传感器精度：±0,5%FS
压力敏感度（标准）：<0,15%Rd/bar，典型N2；
压力校正：<0.02%Rd，典型N2
泄漏完整性，外侧测试：<2 x 10-9mbar l/s He
机械部分
仪表本体：铝或不锈钢（可选）
材料（接液部件）：铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃
表面质量：<1.6μRa（不锈钢阀体<0.8μRa）
压力等级（PN）：16 bar（g）/250 psig
工艺连接可选：压缩式、推入式或端面密封联轴器
密封件默认值：FKM 51415；
其他材料：请联系工厂
重量：200 g，铝阀体，300 g，不锈钢316阀体
防护等级：IP40
电气特性
电源：24 Vdc±10%
功耗：max.0,35W
数字通信：Modbus RTU或FLOW-BUS（可选）
支持USB-C接口，便于设置；
用于监控的可选蓝牙连接
电气连接：9针D-sub（公头）
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