日本富士FUJI超声波浓度计华联欧代理
实时信号输出,可以用于在线过程控制,可以和显示器,记录仪,电脑连接。同时也不会对溶液造成污染,易于维护。
产品描述 :
超声波液体浓度计 单成分用半导体制造程序选件FUD-1 Model-12/1006
测量原理:
超声波在液体中非常易于传播。 超声波在溶液中传播的速度受溶液的浓度和温度影响。「浓度变化」 「密度变化」 「音速变化」本产品利用超声波的特性,高精度的测量溶液的浓度。测量「溶液的温度」+「超声波的速度」 通过CPU演算处理 浓度显示。
示意图:
产品用途:
CMP泥浆浓度或者CMP泥浆浓度中的H2O2的浓度测量洗净液浓度测量((HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、IPA等)稀释装置浓度测量(HF、NH3、H2O2、BHF、KOH、H2SO4、HCI、HNO3等)蚀刻过程中的浓度测量(HF、H2SO4 等)
产品特长:
可根据检量线的交换测量各种半导体药液的浓度。发信器小型、轻量,可直接在线装置。免保养设计。接液部分全部采用(PFA)材料。小型输出设计,对药液没有影响。产品规格:
形号
FUD-1 Model-12/Model-1006
测定参数
超声波传播速度、温度
表示
LCD(浓度、温度、音速/各种参数)
输出信号
模拟 DC4~20mA(可对应浓度值自由设定)
数字 RS232C(浓度、温度、音速。错误代码)
警报 上・上上・下・下下限 测量异常
电源
AC100V~240V 50/60Hz
构造
配电盘支架型(DIN规格基准)・盘内设置型(根据选件可做防雨型)
周边温度
0~50℃ RH85%以下(不结冰时)
0~100℃ 特别规格 -10~160℃(100℃幅)
功能
输出范围设定、输出警报设定、浓度表示移动平均、浓度表示偏移数据以及增值设定功能、自我诊断功能、安全装置功能、取消异常值
RS485输出(不能和RS232C同时输出)选件
温度输出(DC4~20mA)
波道
大10ch
适合发信器
Model-12:SA-20S7/SA-20S9/SA-20M5
Model-1006:SA-20S9
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